4.3 周期（設備周期） - 一個設備系統或子系統的完全操作過程（包括裝卸產品），有流程、制造、測試步驟。在一個單元流程系統中，周期數等于流經的單元數。在多批系統中，周期數等于批量數。

　　4.4 停工時間（設備停工時間）- 設備不在工作狀態或沒有執行到它應有水平的時間，不包括任何不在計劃安排上的時間。

　　4.5 故障（設備故障）- 在沒有外來干涉下發生的意外故障或偏離。

　　   注釋2：正確分類設備故障對于方便解決問題和提高設備能力是非常重要的。

　　4.6 宿主 - 聯系設備的智能系統，作用相當于代表工廠領導下屬的制造主任。（比如，一個非植入的計算機或單元控制器）

　　4.7 中斷-任何干預和故障

　　注釋3：中斷＝干預之和＋故障之和

　　4.8 維修-保證設備在預定功能狀態下工作。在本文獻中，維修的目的是功能不是設備結構；不論是誰來維修，它都包括調整、材料變化、軟件開放、修理、預定檢測等等。

　　4.9 制造時間-所有生產產品的時間及相應停留等待時間。

　　4.10 非計劃時間-計劃中設備不在用于生產的時間。

　　4.11 生產時間-總時間減非計劃時間。

　　4.12 操作工-在設備旁通過設備控制面板操作設備的人員。

　　4.13 產品-可以成為有功效的半導體裝置的一個單元，包括功能的工程裝置。

　　4.14 斷工-為使設備能繼續工作的一段維修時間，包括沖洗、冷卻、加熱、軟件備份、儲存、動態數據（包括參數、方法）、斷工發生在計劃內和計劃外的停工時間內。

　　4.15 復工-在斷工維修后，使設備恢復正常功能工作的一段維修時間。包括沖氣、加熱、標準化時間、初始化常數、載入軟件、重貯數據（例參數、方法）、控制系統再建等等。但不包括設備及流水線檢測時間。復工也發生在計劃內外的停工時間內。

　　4.16 關機-當設備有計劃外狀態時，讓設備回到安全狀態的時間。它包括為了達到安全狀態所做的任何過程。關機僅出現在計劃外時間中。

　　4.17 規范（設備操作）-文獻中所寫的在使用者與供應商之間在設備操作的規定條件下的功能所達成的一致條款。

　　4.18 開始-設備從計劃狀態到達成預期功能所需的時間。包括沖氣、加熱、冷卻、標準化時間、初始化常數、載入軟件、重貯數據（例參數、方法）、控制系統再建等等，開始包括于計劃外時間中。

　　4.19 輔助工具-不屬于生產設備，但是在正常操作中必需的設備。（比如，密封蓋、運載機、探測卡片、電腦控制器）