這個標準在技術上已被全球公制委員會核準，并由北美公制委員會直接負責。目前的版本在2001年3月1日被北美地區標準委員會核準通過。2001年6月將在國際半導體設備和材料協會試行，之后同月公布。其第一版公布于1986年，上一版公布于1999年6月。

　　1. 目的

　　1.1 這份文獻通過提供測試半導體制造設備在制造環境中的三性（可靠性、有效性、可維護性）的標準，為設備的使用者和供應商之間的溝通建立了一個通用基礎。

　　2. 范圍

　　2.1 這份文獻定義了設備的6種基本狀態。它包括了設備的任何時間所有可能的狀態。設備的狀態由其功能狀況決定，而不管操作者是誰。在這里所做的對設備可靠性的測試強調的是對正在使用中的設備的突然中斷，而不是對設備的所有時間。

　　2.2 本文獻第三節（設備狀態）定義了如何對設備時間分類。第六節（三性測試）定義了測試設備狀態的公式。第七節（不確定測試）另外給出方法用來評估所得數據的統計意義。

　　2.3 有效的應用這份規范需要設備的工作遵循它的周期及或時間。自動監測設備狀態是標準SEMIE58中的內容，并不在本規范中。設備使用者與供應商之間清晰有效的溝通將持續提高設備的工作狀況。

　　2.4 在這份規范中的三性的指數可以直接運用于整個設備的非成套工具和子系統水平級。三性指數可以適用于子系統水平（例如過程模塊）的多路徑組工具。

　　2.5 這份標準雖然有提到安全事宜，但目的并不旨在追求這個方面。它將是這個標準使用者的責任來建立合適的安全和健康條款，以及在使用前決定限制章程的運用。

　　3. 參考標準
  　　SEMIE58-自動化的可靠性、有效性和可維護性的標準

　　注釋1：本文列出的所有文獻都使用其最新的適應版本。

　　4. 術語

　　4.1 輔助 - 在一個設備周期中設備工作突然中斷時發生，它有以下三種情況：
　　   c 通過外部干涉使中斷的設備周期繼續。（比如通過操作工和使用者的干涉，無論它是人或電腦。）
　　   c 除了一些特殊的消耗品，零件不可替換。
　　   c 在設備操作規范方面沒有進一步改變。

　　4.2 成組工具 - 由機械地連接在一起的集成過程模塊組成的制造系統。（這些模塊可能來自于同一或不同供應商）

　　4.2.1 單路徑成組工具 - 只有一條流水線的成組工具。

　　4.2.2 多路徑成組工具 - 超過一條獨立流水線的成組工具。（比如，多負荷閘、同樣型號的多流程單元室）