c 維修推遲
　 　c 生產檢測
　　 c 預防性維修
　　 c 改變化學材料或消耗品
　　 c 調整
　　 c 與基礎設施相關的停工。

　　5.7.1 維修推遲-由于設備正等待使用者或供應人員或其他與維修有關的部分（化學材料、消耗品等）而使設備不能正常工作的時間。維修推遲有可能是因為管理員決定讓設備停著推遲維修。

　　注釋4：維修推遲會發生在維修過程的任何時段，它必須從維修時間中被獨立出來。推遲時間包括在離線時間內，但不在修理時間內。（詳見6.3節設備可維修性）

　　5.7.2 生產控制-有計劃地打斷產品有效生產來評估產品或非產品單元。按照設備操作的規范來證實設備是否處于規范中的正常功能狀態。它并不包括可以平行于產品生產的檢測，也不包括隨著預防性維修、調整及修理過程產生的檢測。

　　5.7.3 預防性維修-它由以下的幾部分組成：
　　 c 預防性措施：按計劃周期維護過程（包括設備斷工、復工），以降低設備運轉中故障的可能性。間斷周期可能基于設備時間、設備狀態。
　　 c 設備檢測：運轉設備以證實設備的功能狀態。（比如，系統達到基本壓力，芯片傳輸沒有異常、氣流正常、等離子區燃燒、來源達到特定壓力。）
　　 c 校正運作：在預防性措施后為保證設備按規定正常運作而建立的單元流程和評估。

　　注釋5：設備供應商有責任提出預防性措施計劃以使設備達到預定水平。使用者如果希望供應商提高設備水平，他們有責任指出與原定計劃的偏離之處。

　　5.7.4 改變化學材料及消耗品-指在補充半導體流程中的原材料時的故意打斷。它包括改變氣瓶、酸、目標、來源等等以及任何與改變相關的充、洗、清潔。但不包括在得到化學材料、消耗品補給之前的延誤時間。

　　5.7.5 調整-它是以下幾部分之和：
　　 c 變動：為了適應在流程、產品、包裝結構上的改變而作出的設備變動所需的時間。（不包括裝修、重建、升級）
　　 c 設備測試：

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